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壓力傳感器固有頻率很高,可以測量頻率范圍很寬的脈動壓力


壓力傳感器固有頻率很高,可以測量頻率范圍很寬的脈動壓力:
   用基于介觀壓阻效應的共振隧穿薄膜替代傳統的壓阻式應變片作為敏感元件,通過理論分析和仿真計算驗證了該結構對傳感器靈敏度、固有頻率的影響,從理論上證明了介觀壓阻效應原理可以提高壓力傳感器的靈敏度,擴大其測量頻率的范圍。
   該結構的壓力微傳感器由于敏感元件與變換元件一體化,尺寸小,其固有頻率很高,可以測量頻率范圍很寬的脈動壓力。在不同的偏壓下,該傳感器的靈敏度不同。說明靈敏度可調節。同樣結構的微壓力傳感器,如果敏感元件是硅或銅鎳合金壓敏電阻,其靈敏度分別為0.38x104V/m和O.17×104V/m??梢姴捎霉舱袼泶┒O管做為敏感元件的微壓力傳感器其靈敏度較之傳統的傳感器得到了很大的提高。

   壓力傳感器應用廣泛,例如汽車中的多路壓力測量(如空氣壓力測量和輪胎系統、液壓系統、供油系統的壓力測量)、環境控制(如加熱、通風和空氣調節)中的壓力測量、航空系統中的壓力測量以及醫學中動脈血液壓力測量等。這里將在傳統壓力傳感器中使用一種新原理一介觀壓阻效應口,即在共振隧穿電壓附近,通過4個物理過程,將一個微弱的力學信號轉化為一個較強的電學信號。
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