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壓力傳感器的新突破效果


壓力傳感器的新突破效果

日前的壓力傳感器是將一個穩定的膜片與易傳感的硅納米線結合在一起運作使用的,從而更加穩定耐用。
通過蝕刻氮化硅和變化厚度、調整硅納米線,壓力傳感器可以提供電輸出的線性變化,符合高精度的醫療器械應用要求;同時滿足了抵抗變形和機械損壞。
但由于這個隔膜必須將很小的壓力變化傳到電阻器上,同時要抵抗變形和破損。因此,壓力傳感器的隔膜材料選擇就顯得至關重要。于
然而,壓力傳感器的優越性,能夠戰勝易彎曲性這個弱點,所以會在頂層再加一層性能穩定的氮化硅。

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