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專家分析壓力傳感器的發展趨勢


東莞市南力測控設備有限公司推出新產品:壓力開關,壓力變送器,壓力傳感器,稱重傳感器,液位傳感器如有意向購買者請致電:0769-88119598

  由于該技術是平面工藝與立體加工相結合,又便于集成化,所以可用來制成血壓計、風速計、水速計、壓力表、電子稱以及自動報警裝置等。

  壓力傳感器已成為各類傳感器中技術最成熟、性能最穩定、性價比最高的一類傳感器,因此對于從事現代測量與自動控制專業的技術人員必須了解和熟識國內外壓力傳感器的研究現狀和發展趨勢,在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定可靠、成本低、便于集成化的優點,可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制。除此以外,還廣泛應用于水利、地質、氣象、化工、醫療衛生等方面。

  傳感器技術是現代測量和自動化系統的重要技術之一,從宇宙開發到海底探秘,從生產的過程控制到現代文明生活,幾乎每一項技術都離不開傳感器,因此, 許多國家對傳感器技術的發展十分重視,如日本把傳感器技術列為六大核心技術(計算機、通信、激光、半導體、超導體和傳感器) 之一。

  現代壓力傳感器以半導體傳感器的發明為標志,而半導體傳感器的發展可以分為四個階段: 發明階段半導體材料的這一特性得到較廣泛應用,技術發展階段隨著硅擴散技術的發展,這種形式的硅杯壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定性好、成本低、便于集成化的優點,實現了金屬- 硅共晶體,為商業化發展提供了可能。

  商業化集成加工階段在硅杯擴散理論的基礎上應用了硅的各向異性的腐蝕技術,擴散硅傳感器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術為主,發展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術,主要有V 形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。

  由于可以在多個表面同時進行腐蝕,數千個硅壓力膜可以同時生產,壓力傳感器實現了集成化的工廠加工模式,成本進一步降低,微機械加工階段上世紀末出現的納米技術,使得微機械加工工藝成為可能,通過微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結構型的壓力傳感器,其線度可以控制在微米級范圍內,利用這一技術可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜,使得壓力傳感器進入了微米階段。

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